机器嗅觉芯片——VOCs纳米智能传感器
复旦大学
朱立远等
全国金奖
参赛类别:“互联网+”制造业
复旦大学微电子学院5位博士研究生(先后加入)于2015年发起的创业项目,研发团队历时3年,传感器芯片成功流片(试制)3次,测试设备已在川沙镇和宝山某工厂厂区内试运行近1年,效果显著。采用纳米制造技术和半导体MEMS加工技术,为监测设备商提供了更高精度、更低成本、更长寿命的新一代VOCS纳米智能传感器产品。